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洁净车间空调通风与洁净度等级—电子行业

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洁净车间空调通风与洁净度等级—电子行业

电子工厂生产工艺分类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平面显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT)分离器生产(功率一、二、三级管,电容,电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机)自控元器件生产(传感器、执行机构)等

由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求比拟同,范围约为0.1-5微米,对温湿度控制的要求相对较高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22摄氏度(精度正负0.1-正负1摄氏度)相对湿度基数为40%,正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而高到低变化,差值为5-10Pa

由于我国电子行业与国际先进水平差距较大,随着经济发展不断加快,先进技术不断进入我国,因此,生产工艺技术的更新,可谓日新月异,洁净工程设计必须要适应这么快的变化节奏

电子行业洁净车间的冷负荷比其他行业的洁净室大很多,单位冷负荷达400-500W/平方米很常见,由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点

电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大,新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要处理,使排风符合环保要求。

电子行业生产工艺有抗静电,抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高